検出器/受光器
検出器グループでは、波長領域1.3~1.55µm、動作速度1~150GHzのものを中心に、お客様の仕様に基づく高速光検出器/受光器をInP基板採用の光電子集積回路(OEIC)として開発・製造しています。
技術:加工
HHIは、ISOクラス4~6(従来のクラス10~1000)に準拠した業界標準クリーンルーム設備を備えています。一貫加工ラインは、電子ビーム・リソグラフィーによるマスク作成/直接描画から、最終工程の導体パッドやフリップチップ・バンプの電気めっき/AuSnスパッタリングまでの技術工程をすべて網羅しています。