検出器/受光器
検出器グループでは、波長領域1.3~1.55µm、動作速度1~150GHzのものを中心に、お客様の仕様に基づく高速光検出器/受光器をInP基板採用の光電子集積回路(OEIC)として開発・製造しています。
テラヘルツ・センサー/システム
HHIでは、通信分野の成熟したInP技術を応用して、波長領域1.5µmの光信号とテラヘルツ放射を相互に変換する光ミキサーおよび光伝導アンテナを開発しています。
回折光学素子
HHIが開発した素子群は主に石英ガラス、シリカ、シリコンに実装されており、遠紫外領域から赤外領域までの波長領域に対応しています。
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技術:加工
HHIは、ISOクラス4~6(従来のクラス10~1000)に準拠した業界標準クリーンルーム設備を備えています。一貫加工ラインは、電子ビーム・リソグラフィーによるマスク作成/直接描画から、最終工程の導体パッドやフリップチップ・バンプの電気めっき/AuSnスパッタリングまでの技術工程をすべて網羅しています。